106年第2學期-1238 電工實驗(Ⅳ):奈米積體電路製程整合實驗 課程資訊

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選課分析

本課程名額為 14人,已有10人選讀,尚餘名額4人。

評分方式

評分項目 配分比例 說明
考試及模擬 30
期中報告 30
期末報告 30
出席 10

授課教師

林士弘

教育目標

本課程涵蓋半導體製程、材料和元件特性量測相關的實驗,希望修課同學對半導體實驗有初步概念及實作體會。課程重點在於介紹半導體相關的材料成長技術,從講解說明與實地觀察,再配合儀器量測,使學生對材料特性有深一層認識。本實驗著重半導體元件之設計、製程及量測分析,使學生從親手製作元件中,了解半導體製程的原理與方法。從各種材料和元件特性量測中,使學生了解量測的原理和方法,並熟悉量測儀器的操作。

課程資訊

參考書目

1 半導體製程技術導論,Hong Xiao著,羅正忠、張鼎張譯,台灣培生教育出版股份有限公司
2 自編講義