本課程已於 2018-08-27停開

107年第1學期-5332 黃光微影技術 課程資訊

課程分享

選課分析

本課程名額為 70人,已有0人選讀,尚餘名額70人。

評分方式

評分項目 配分比例 說明

授課教師

黃家逸

教育目標

1.黃光微影技術介紹 2.黃光微影技術演示 3.黃光微影技術實作

課程資訊

參考書目

書名: Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
作者: Chris Mack
書版商:Wiley
書版年份: 2008