107年第2學期-5330 薄膜物理專題(二) 課程資訊

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選課分析

本課程名額為 70人,已有8人選讀,尚餘名額62人。

評分方式

評分項目 配分比例 說明
平常成績 40 包括出席, 作業,問答
報告 40 專題書面及口頭報告
小考 20 隨堂小考

授課教師

蕭錫鍊

教育目標

介紹薄膜材料製程技術及物理性質分析. 包括: 1.真空技術 2.物理氣相沉積 3.化學氣相沉積 4.薄膜成核成長原理 5.材料分析技術

課程資訊

參考書目

1. Optical Diagnostics for Thin Film Processing, Irving P.Herman, 1996, Academic Press
2. 講義
3. Introduction to solid state physics 8 edition (Charles Kittle)
4. Thin Film Deposition