112年第2學期-5325 半導體檢測技術 課程資訊
評分方式
| 評分項目 | 配分比例 | 說明 |
|---|---|---|
| 作業 | 20 | |
| 小考 | 20 | 不定時隨堂測驗 |
| 期中,期末考 | 60 |
選課分析
本課程名額為 20人，已有14 人選讀，尚餘名額6人。
登入後可進行最愛課程追蹤 [按此登入]。
授課教師
蕭錫鍊教育目標
講解半導體材料及元件相關物理特性檢測技術的基本觀念，使學生具備進行相關研究的基礎。
課程內容包括：
1. 半導體物理簡介
2. 積體電路技術簡介 (Integrated Circuit)
3. 半導體元件簡介 (semiconductor device)
4. 電性量測(Electrical Characterization:Basic Electrical Measurement Theory, Probe and Instrumentation, Resistivity, Carrier/Doping Densities, Contact Resistance, Series Resistance, Schottky Barriers, MOSFET Channel Length, Threshold Voltage, Defects, Impurities, MOS Capacitors, Oxide Charges, Interface States, Carrier Lifetime, Mobility, Charge-based Measurements, Probe Microscopy, Reliability, Failure Analysis)
5. 光性量測(Optical Characterization, Optical Microscopy, Ellipsometry, Transmission, Reflection, Photoluminescence, Emission Microscopy)
6. 物理化學特性量測(Physical/Chemical Characterization, Scanning Electron Microscopy, Auger Electron Spectroscopy, Transmission Electron Microscopy, Voltage Contrast, Secondary Ion Mass Spectrometry, Rutherford Backscattering, X-Ray Fluorescence, X-Ray Photoelectron Spectroscopy)
課程資訊
基本資料
選修課，學分數：0-3
上課時間：五/7,8,9[BS508A]
修課班級：應物系3,4,碩1,2
修課年級：1年級以上
選課備註：大三四可選[II類選修]
教師與教學助理
授課教師：蕭錫鍊
大班TA或教學助理：尚無資料
Office Hour一/5,6 [BS502]
授課大綱
授課大綱：開啟授課大綱(授課計畫表)
(開在新視窗)
參考書目
1. D.K. Schroder, Semiconductor Material and Device Characterization, 3rd ed., Wiley Interscience, 2006.
2. 講義
3. Semiconductor Devices-physics and technology, S.M. Sze
4. 太陽電池, 五南出版社
開課紀錄
您可查詢過去本課程開課紀錄。 半導體檢測技術歷史開課紀錄查詢