本課程為奈米電子與能源技術組規劃之基礎積體電路製程專業課程，使學生了解奈米積體電路製造技術的基本知識，並培養其了解半導體產業之實務觀念。希望同學修完這門課程，可以在研究及實務上均有幫助，未來不管是繼續升學及工作都可以具備奈米積體電路製程的知識。

本課程為介紹半導體元件製作之基本課程,從積體電路介紹與歷史展望、晶體成長、晶圓製造與矽晶圓的基本性質、積體電路製程技術、CMOS製程的介紹,以及未來技術發展的趨勢,使學生能對半導體工程技術有基本的整體概念。

蕭 宏，半導體製程技術導論，第四版，全華圖書，2024.04