113年第2學期-5329 真空與表面物理導論 課程資訊

評分方式

評分項目 配分比例 說明
隋堂測驗及作業 25
期中考 50 有兩次期中考
期末考 25

選課分析

本課程名額為 20人,已有0 人選讀,尚餘名額20人。
本課程可網路登記,目前已登記人數為 9 人,選上機率為99.9%




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授課教師

蕭錫鍊

教育目標

講解真空與表面物理, 使學生具備相關研究的基礎 課程內容包括: 一. 真空介紹 1. 真空的定義 2. 真空度的單位及真空的分類 3. 真空的應用 二. 真空元件 1. 真空幫浦 2. 真空計 3. 真空材料及組件 4. 真空抽氣過程 三. 真空物理和基本理論 1. 氣體動力學 2. 真空系統的設計 四. 表面物理及應用 五. 表面分析技術 1. 歐傑電子能譜(AES)技術 2. 光電子能譜(XPS)技術 3. LEED 4. RHEED 5. STM 6. AFM 7. SEM/TEM

課程資訊

參考書目

1. Surface Analysis:The Principle Techniques, John C. Vickerman, JOHN WILEY & SONS,1997
2. 講義

開課紀錄

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