本課程已於 2018-08-27停開
107年第1學期-5332 黃光微影技術 課程資訊
評分方式
| 評分項目 | 配分比例 | 說明 |
|---|
選課分析
本課程名額為 70人，已有0 人選讀，尚餘名額70人。
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教育目標
1.黃光微影技術介紹
2.黃光微影技術演示
3.黃光微影技術實作
課程資訊
基本資料
選修課，學分數：3-0
上課時間：二/10,11,12[ST132]
修課班級：應物系3,4,碩博
修課年級：年級以上
選課備註：大34可選修；須經授課教師同意，人工選課
教師與教學助理
授課教師：黃家逸
大班TA或教學助理：尚無資料
Office Hour時間: 請先來信預約
地點: 大智慧科技大樓2樓 ST220
授課大綱
授課大綱：開啟授課大綱(授課計畫表)
(開在新視窗)
參考書目
書名: Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication
作者: Chris Mack
書版商:Wiley
書版年份: 2008
開課紀錄
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