110年第2學期-5531 材料：表面與薄膜處理技術 課程資訊

評分方式

評分項目	配分比例	說明
Assignments	15
Pop Quizzes	5
Oral presentation	20
Experimental Report	20
Final Exam	40

教育目標

本課程目標在使學生熟習各式表面處理及薄膜製備與分析技術。將著重於乾溼式薄膜製備與分析技術，包含物理氣相沉積、化學氣相沉積、乾溼式蝕刻、電泳、電沉積、電聚合、電解拋光與防蝕等技術理論層面加以介紹，並安排相關實作實驗。

基本資料

選修課，學分數：0-3
上課時間：四/2,3,4[CME205]
修課班級：化材系4,碩1,2
修課年級：年級以上
選課備註：

參考書目

1. Hartmut Frey · Hamid R. Khan, Handbook of Thin-Film Technology (2015)
2. Stojan Djokić, Electrodeposition and Surface Finishing (2014)