積體電路製程整合實驗

111學年第2學期 必選課 1 學分
授課大綱
50
名額
18
已選
32
餘額
上課時間
一/2,3,4[HT002]
授課教師
Office Hour:禮拜二 9-12點 教師辦公室
修課班級
電機系3 · 3年級以上
課程資訊
「微電子及生醫工程」領域必選。
選課分析

平常表現 50 實驗態度、學習態度、出席率
期末報告 50 期末元件發表成果

本課程涵蓋半導體製程、材料和元件特性量測相關的實驗,希望修課同學對半導體實驗有初步概念及實作體會。課程重點在於介紹半導體相關的材料成長技術,從講解說明與實地觀察,再配合儀器量測,使學生對材料特性有深一層認識。本實驗著重半導體元件之設計、製程及量測分析,使學生從親手製作元件中,了解半導體製程的原理與方法。從各種材料和元件特性量測中,使學生了解量測的原理和方法,並熟悉量測儀器的操作。

學生熟悉MEMS製程(曝光、顯影、蝕刻、塗佈)、3D列印、光罩製作、PDMS製作和半導體元件製作

自編教材

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