112年第2學期-5531 製程：半導體製造技術 課程資訊

評分方式

評分項目	配分比例	說明
期中考	45
期末報告	45
課堂參與	10

教育目標

介紹半導體製造技術，使學生對於半導體製程有進一步認識。透過文獻技術研讀，獲得產業最新技術，以利就業接軌。

基本資料

選修課，學分數：0-3
上課時間：三/2,3,4[CME115]
修課班級：化材系3,4,碩博1,2
修課年級：1年級以上
選課備註：

參考書目

1. 自編講義
2. 期刊文獻
3. Introduction to semiconductor manufacturing technology (2nd) by X. Hong (2012).