積體電路製程整合實驗

113學年第2學期 選修課 1 學分
授課大綱
25
名額
26
已選
-1
超選 1 人
上課時間
一/5,6,7[HT109]
授課教師
Office Hour:Fri PM 3:00~5:00
修課班級
電機系3,4 · 3年級以上
課程資訊
選課分析

出席 30
上課實作 35
實驗報告 35

本課程涵蓋半導體製程、材料和元件特性量測相關的實驗,希望修課同學對半導體實驗有初步概念及實作體會。課程重點在於介紹半導體相關的材料成長技術,從講解說明與實地觀察,再配合儀器量測,使學生對材料特性有深一層認識。本實驗著重半導體元件之設計、製程及量測分析,使學生從親手製作元件中,了解半導體製程的原理與方法。從各種材料和元件特性量測中,使學生了解量測的原理和方法,並熟悉量測儀器的操作。

本課程經由對半導製程之實習,親自動手,務使學生兼具之半導體製程厚實基礎,再進而應用到半導體PN接面以及MOS元件製程之實驗。以培養半導體產業之相關人材。

自編教材

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