114年第1學期-1109 感測器原理之視覺感測粒子控制 課程資訊

評分方式

評分項目	配分比例	說明
期中、末考+期中、末小考	60
兩週一次作業	10
課堂點名	10
2週彈性課程（20%）	20

教育目標

課程目標： 本課程「視覺感測粒子控制」旨在培養學生在半導體過程中視覺感測與粒子控制領域的專業知識與實踐能力。透過問題導向學習(PBL)的教學方式，引導學生從理論到實踐，全面掌握視覺感測系統的基本原理、圖像處理技術、顆粒檢測方法以及在半導體行業的應用。 課程首先建立學生對視覺感測系統基本構成的理解，包括光源系統、光學系統、感測元件、圖像處理系統等核心組件的工作原理和特性。接著深入探討影像處理與分析技術，從基本的點處理、區域處理到高階的頻域處理，讓學生掌握影像增強、復原、分割等關鍵技術。在此基礎上，課程聚焦於顆粒檢測技術，介紹從傳統光學方法到先進的激光衍射、動態光散射等多種粒徑分析原理，以及它們在半導體過程潔淨度控制中的應用。 隨著半導體製程技術的不斷進步，視覺檢測在製程中扮演越來越重要的角色。本課程將帶領學生了解視覺檢測在晶圓製造、光罩檢查、封裝測試等環節的具體應用，並探討AI與機器學習如何革新傳統視覺檢測方法，提升檢測精準度與效率。課程也將介紹視覺檢測系統的自動化整合技術，以及如何進行系統測試與驗證，以確保檢測結果的可靠性。 最後，課程透過Arduino軟硬件實踐專題，讓學生親手設計並實現PM2.5顆粒物檢測系統，將理論知識轉化為實際應用能力。學生將學習傳感器選擇、電路設計、程式編寫、數據處理與視覺化等全流程技能，培養解決實際工程問題的能力。 透過本課程的學習，學生將能夠理解並應用視覺感測與粒子控制的核心技術，具備在半導體產業相關崗位的專業素養，並能夠跟隨技術發展趨勢，持續學習與創新，為未來智慧製造領域的發展做出貢獻。 課程特色： 本課程「視覺感測粒子控制」旨在培養學生在半導體過程中視覺感測與粒子控制領域的專業知識與實踐能力。透過問題導向學習(PBL)的教學方式，引導學生從理論到實踐，全面掌握視覺感測系統的基本原理、圖像處理技術、顆粒檢測方法以及在半導體行業的應用。 課程首先建立學生對視覺感測系統基本構成的理解，包括光源系統、光學系統、感測元件、圖像處理系統等核心組件的工作原理和特性。接著深入探討影像處理與分析技術，從基本的點處理、區域處理到高階的頻域處理，讓學生掌握影像增強、復原、分割等關鍵技術。在此基礎上，課程聚焦於顆粒檢測技術，介紹從傳統光學方法到先進的激光衍射、動態光散射等多種粒徑分析原理，以及它們在半導體過程潔淨度控制中的應用。 隨著半導體製程技術的不斷進步，視覺檢測在製程中扮演越來越重要的角色。本課程將帶領學生了解視覺檢測在晶圓製造、光罩檢查、封裝測試等環節的具體應用，並探討AI與機器學習如何革新傳統視覺檢測方法，提升檢測精準度與效率。課程也將介紹視覺檢測系統的自動化整合技術，以及如何進行系統測試與驗證，以確保檢測結果的可靠性。 最後，課程透過Arduino軟硬件實踐專題，讓學生親手設計並實現PM2.5顆粒物檢測系統，將理論知識轉化為實際應用能力。學生將學習傳感器選擇、電路設計、程式編寫、數據處理與視覺化等全流程技能，培養解決實際工程問題的能力。 透過本課程的學習，學生將能夠理解並應用視覺感測與粒子控制的核心技術，具備在半導體產業相關崗位的專業素養，並能夠跟隨技術發展趨勢，持續學習與創新，為未來智慧製造領域的發展做出貢獻。

基本資料

選修課，學分數：3-0
上課時間：三/6,7,8[ST020]
修課班級：電機系2-4
修課年級：2年級以上
選課備註：

參考書目

自編