本課程為奈米電子與能源技術組規劃之基礎積體電路製程專業課程，使學生了解奈米積體電路製造技術的基本知識，並培養其了解半導體產業之實務觀念。希望同學修完這門課程，可以在研究及實務上均有幫助，未來不管是繼續升學及工作都可以具備奈米積體電路製程的知識。

本課程旨在使學生理解 2010 年後主流與先進半導體製程技術之核心概念與應用。內容涵蓋基礎半導體知識、主要模組製程，以及二維平面式與三維鰭式電晶體之製程整合。課程亦介紹受應力矽通道、高介電閘極氧化層、金屬閘極、先進源汲極工程等關鍵技術。最後，課程將引導學生認識未來技術方向，包括 GAAFET、CFET、垂直通道元件與3D IC等，以建立學生對半導體製程演進的整體理解。

半導體積體電路製程技術入門，顧鴻壽，全華圖書，2025年