115年第1學期-1129 積體電路製程整合 課程資訊

評分方式

評分項目 配分比例 說明
出席 20
作業 30
期中考 25
期末考 25

選課分析

本課程名額為 70人,已有0 人選讀,尚餘名額70人。


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授課教師

電機教師

教育目標

本課程旨在為學生建立電機電子領域積體電路製程整合所需的專業知識與實際應用,內容涵蓋半導體元件製程之基本原理、製程流程整合、薄膜沉積、微影製程、蝕刻技術、摻雜與熱處理,以及金屬化與封裝等關鍵技術。課程同時介紹各製程步驟間之整合關係與製程參數對元件特性之影響,使學生了解積體電路與半導體元件之完整製造流程。

課程資訊

參考書目

1.自編數位教材
2.半導體製程與整合,台灣半導體研究中心。
3.蕭宏,半導體製程技術導論 (第三版)

開課紀錄

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